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现在国内生产四氯化硅的主要方法有哪些？

现在国内生产四氯化硅的主要方法有哪些？

匿名用户 | 2017-05-22 10:49

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（共1个回答）

生产海绵锆过程中有氯化阶段需要在锆英砂中加入硅粉一起氯化；另外还有专门为了生产四氯化硅而用硅粉与氯气反应生成四氯化硅；国外的高纯硅烷生产过程中用三氯氢硅生成硅烷和四氯化硅，生成四氯化硅；生产海绵钛过程中氯化阶段也生成四氯化硅改良西门子法的三氯氢硅生产多晶硅过程中有副产物四氯化硅产生

匿名用户 | 2017-05-22 10:49

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